最先端機器の高機能化に貢献

これまで以上に滑らかなDLC膜(硬質薄膜)の開発に成功

長年培ってきた高電圧技術と真空応用技術を、先端分野の製造機器に活用したのがビーム・真空応用事業です。中でも、半導体や高精細・中小型フラットパネルディスプレイ(FPD)製造用のイオン注入装置、タイヤや電線などの品質を向上させる電子線照射装置、工具や自動車部品の性能を高める薄膜コーティングサービスに注力しており、今後の成長が期待されています。
メンテナンス性向上などお客様のご要望に応え、諸機能を進化させることで、現在もFPD製造用イオン注入装置の市場シェア100%を堅持しています。電子線照射装置では、自動車関連産業のグローバル展開による設備投資需要を背景に、世界30カ国に納入先を拡大しました。コーティングサービスでは、タイで自動車部品用の量産ラインが立ち上がり、生産を開始しました。また、超平滑なDLC膜(SLA)の開発に成功し、今後の機器・部品コーティングへの適用拡大が期待されています。

  • 半導体製造用イオン注入装置

    半導体製造用イオン注入装置は、パソコン・モバイル機器などのあらゆるデジタル製品に内蔵されている半導体デバイスの製造に不可欠な装置です。FPD製造用イオン注入装置と同様の技術を活用しています。

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  • FPD製造用イオン注入装置

    高精細・中小型FPD製造用イオン注入装置は、スマートフォンをはじめとするハイエンドの携帯情報端末などに使用されている高精細ディスプレイを製造するために不可欠な装置です。

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  • 電子線照射装置

    耐熱被覆電線・熱収縮チューブ・発泡ポリエチレン・自動車用タイヤの製造に使用されている装置です。医療用具の滅菌や環境保全にも利用され、用途は限りなく広がっています。

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  • 薄膜コーティングサービス

    自動車部品や工具・金型などの表面コーティング加工に使用する新型コーティング装置を開発しました。従来装置と比べ短時間・低コストで成膜が可能で、従来比約2倍の生産量を実現しました。

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