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2011.06.27

世界初 5.5世代基板対応のFPD製造用イオン注入装置を開発・販売

 
スマートフォン等による中小型FPDパネルの需要増に対応し、滋賀の工場増設へ

日新電機株式会社(本社:京都市右京区、社長:小畑英明)の全額出資子会社である日新イオン機器株式会社(本社:京都市南区、社長:長井宣夫、以下NIC)は、中小型フラットパネルディスプレイ(以下、FPD)の急速かつ大幅な需要増加によるガラス基板サイズの大型化に対応するため、世界で初めて5.5世代(1300mm×1500mm)基板対応のFPD製造用イオン注入装置「イオンドーピングiG5(以下、iG5)」を開発しました。2010年12月に出荷した初号機については間もなくパネル量産の本格稼動に入ります。
iG5は国内・海外のFPDメーカーから既に多くの引き合いや発注を受けており、この需要に対応するため、NIC滋賀事業所敷地内に工場を増設することにしました。2011年10月末より操業開始を予定しています。

図1.イオンドーピングiG5 鳥瞰図


中小型FPD製造用イオン注入装置の需要の高まりについて
中小型FPDの最大のアプリケーションである携帯電話市場では、スマートフォンの需要が世界的に急拡大しています。スマートフォンに代表されるハイエンドの携帯情報端末のディスプレイには高精細・高画質・高解像度などの高い付加価値が求められ、高品位の液晶ディスプレイや、自発光で低消費電力の有機ELディスプレイが採用されています。これらのディスプレイの駆動回路には、低温多結晶シリコンによる薄膜トランジスタ(LTPS-TFT)が使われており、イオン注入技術はLTPS-TFT製造プロセスにおける独特な技術で、かつ必要不可欠なものです。このことから、FPD製造用イオン注入装置の需要が急加速しています。

5.5世代基板対応装置の開発について
LPTS-TFT製造用のガラス基板は、これまで4.5世代(730mm×920mm)が最大かつ主要なサイズでした。しかし、スマートフォンには通常の携帯電話に比べて大型で高精細のディスプレイが求められるため、一層生産能力の高い生産ライン構築が要求されています。そのため、4.5世代とは基板面積比約3倍となる5.5世代ガラス基板の採用が各FPDメーカーで始まっています。

NICはイオン注入装置事業で約40年、FPD製造用では20年超の長いキャリアを持ち、4.5世代基板用の「iG4」は圧倒的な採用実績があります。この新しい基板サイズでのLTPS-TFT製造を実現するというお客様からの熱い期待に応えるために、5.5世代基板対応のイオン注入装置「iG5」を開発しました。「iG5」では、長年培ってきた要素技術によりイオンビーム量を「iG4」比約2倍以上に増大させて生産能力を向上させました。更に装置構造の見直しにより大幅な軽量化を実現しました。

滋賀事業所での工場増設について
NICは、FPD製造用イオン注入装置市場で世界シェア80%以上を占めており、当面の需要増への対応が急務です。今後期待されるタブレット端末や有機ELディスプレイのアプリケーション拡大など、もう一段のLTPS-TFT需要増大も視野に入れ、NIC滋賀事業所の工場増設によって、現状iG5で月産2台の生産能力を5台に引き上げ、供給体制の強化を進めていきます。

図2.滋賀事業所工場増設後の予想図

<参考資料>

日新イオン機器株式会社の概要(NICの社外HPへリンクしています)

◆FPD製造用イオン注入装置「イオンドーピング iG5」
 
ガラス基板サイズ:1300mm×1500mm
イオン種              :リン、ホウ素
装置寸法            :W7500×L12500mm×H3908mm
装置重量            :約102t

◆滋賀事業所 工場増設工事
所 在 地 :滋賀県甲賀市水口町ひのきが丘29
工事着工:2011年6月2日
操業開始:2011年10月31日予定
増床面積:工場棟5150平方メートル
投資金額:約10億円

※イオンドーピングは日新イオン機器株式会社の登録商標です。

以上

[本件に関するお問い合わせ先]
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お問い合わせ先

〒615-8686 京都市右京区梅津高畝町47番地
日新電機株式会社 広報グループ
TEL:075(864)8849

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