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薄膜コーティング装置(マルチアークPVD装置

マルチアークPVD装置とは

マルチアークPVD装置

摩耗は、まず表面から起こり、摩擦は表面の状態に影響されます。 表面だけを硬くすることで工具や部品の寿命を延ばしたり、滑りをよくすることでエネルギー効率を良くする事ができます。

それらに有効なセラミックス膜をコーティングする装置、それがマルチアークPVD装置です。

研究用の小形機から量産用の大形機まで、また、その他特別仕様にも対応できます。

こんな膜がコーティングできます

  • 金属膜
    Ti Cr TiAl Hf Zr Mo Nb Ta など
  • チッ化金属膜
    TiN TiAlN5CrN HfN ZrN NbN など
  • 炭チッ化金属膜
    TiCN など
  • 硬質カーボン膜

こんな用途があります

  • 切削工具の寿命向上
  • 金型の寿命や離型性向上
  • 機械部品の摩耗低減
  • 摺動部品の摩擦抵抗低減
  • 装飾用途 ・・・ など

装置の仕組み

マルチアークPVD装置

表面に膜をつけたい基材を真空容器に入れて真空状態にし、膜の材料となる金属表面に真空アーク放電を発生させ、材料金属を蒸発させて基材にコーティングします。

その時にたとえばチッ素ガスを入れておけば、金属のチッ化セラミックス膜ができます。

製品の特長

  • 陰極アーク放電形イオンプレーティング装置
  • スムースコーティング技術による平滑で密着性のよいコーティング
  • 装置の操作性、メンテナンス性が良好

製品に関するお問い合わせ

日本アイ・ティ・エフ株式会社 装置部:(075)864-8349

または、当サイトのお問い合わせ送信フォームをご利用ください。

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(薄膜コーティング装置は、2010年4月より日新電機の

連結子会社である日本アイ・ティ・エフに事業移管されています。)

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