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FPD製造用イオン注入装置

製品の特長

デジタルカメラやビデオカメラなどの画面に使われているポリシリコンTFT液晶パネルの製造に使用されるイオン注入装置です。

大形のガラス基板にイオン注入を行い、TFT(薄膜トランジスタ)をつくります。

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