最先端機器の高機能化に貢献

長年培ってきた高電圧技術と真空応用技術を、先端分野の製造機器に活用したのがビーム・プラズマ事業です。中でも、半導体や高精細・中小型フラットパネルディスプレイ(FPD)製造用のイオン注入装置、タイヤや電線などの品質を向上させる電子線照射装置、工具や自動車部品の性能を高めるファインコーティングサービスに注力しており、今後の成長が期待されています。
メンテナンス性向上などお客様のご要望に応え、諸機能を進化させることで、現在もFPD製造用イオン注入装置の市場シェア100%を堅持しています。電子線照射装置では、自動車関連産業のグローバル展開による設備投資需要を背景に、世界30カ国に納入先を拡大しました。コーティングサービスでは、ベトナムでも受託サービスを開始するほか、超平滑なDLC(Diamond-Like Carbon)膜の開発に成功し、今後の機器・部品コーティングへの適用拡大が期待されています。

持続可能な未来を目指して

社会基盤を支える多種多様な半導体などの製造に欠かせない装置の開発において、有害物質の排除や省エネ化を進め、環境負荷の低い装置の創出に取り組んでいます。また、 EV車やHEV車、省エネ家電製品への活用で注目されるパワーデバイスの製造にも対応しており、最終製品の環境性能向上にも貢献しています。

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