FPD製造用イオン注入装置

FPD（フラッドパネルディスプレイ）製造用イオン注入装置（I/D：Ion Doping system）は、主にスマートフォンに代表されるハイエンドの携帯電話やデジタルカメラ、カーナビをはじめとする車載用機器など、高精細・高機能な画面表示が求められる液晶ディスプレイ（LCD）や有機EL（OLED）ディスプレイの製造に必要不可欠な装置です。 本装置は、大面積ガラス基板全面に短時間で均一に注入できる高い生産性と安定した稼働という特長を活かし、これらのディスプレイの駆動制御に最適な低温ポリシリコン（LTPS）や低温多結晶酸化物（LTPO）の薄膜トランジスタ（TFT）を形成するために使われています。